中科飞测公布“一种晶圆面型测量设备及测量方法”专利

天眼查APP显示，近日，深圳中科飞测科技股份有限公司申请的“一种晶圆面型测量设备及测量方法”专利公布。 摘要显示，本申请提供的晶圆面型测量设备及测量方法，所述第一干涉仪获取所述测量腔空腔状态下的第一空腔干涉图像，第一空腔干涉图像确定第一空腔检测结果，所述第一干涉仪和所述第二干涉仪同时出射光，所述第一干涉仪获取所述测量腔中固定有所述第一样品状态下的第一干涉图像，根据所述第一干涉图像确定第一干涉检测结果，调整所述测量腔中所述第一样品的位置，使所述第一干涉检测结果的空腔环区域与所述第一空腔检测结果的对应区域接近，此时所述第一样品在所述测量腔内的位置记为标准工位，并在所述标准工位执行所述第一样品的面型测量，本申请通过空腔采集时特定同步控制，以消除空腔测量时的串扰影响，并在此基础上确定晶圆测量的标准工位，使得在该标准工位进行晶圆测量时有效避免对路串扰的影响，提高了测量精度。